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第一百四十四章 组装完成国内首台EUV光刻机（第3页）

她看着陈野专注的侧脸，看着团队成员们默契的配合，心中满是敬佩。

她知道，陈野所做的这一切，不仅仅是为了启元医疗，更是为了整个国家的半导体产业。

时间一分一秒地流逝，实验室里的氛围越来越紧张。

当最后一个核心部件光刻物镜被精准安装到位，当仪器发出“校准完成”的提示音时，整个实验室瞬间安静了下来。

陈野深吸一口气，缓缓直起身。

他的脸上布满了疲惫，眼底却闪烁着炽热的光芒。

随后转身看向众人，声音带着一丝不易察觉的颤抖，却无比坚定：

“启动检测程序！”

张磊立刻上前操作，手指在触控屏上轻轻一点。

“嗡——”

初代EUV光刻机缓缓启动，机身发出轻微的震动，指示灯从红色逐渐变成绿色。

屏幕上，各项性能参数不断跳动、稳定。

【光源功率达标】

【光刻精度达标】

【工作台定位精度达标】

【。。。。。。】

所有关键指标，全部符合设计要求！

“成了！”

看到数据张磊脸面露出无与伦比的激动，立马放声大喊了出来。

“成功了！我们造出光刻机了！”

实验室里瞬间爆发出雷鸣般的欢呼。

有人用力拥抱在一起，有人激动地挥舞着拳头，有人红着眼眶。

李院士看着运转正常的光刻机，感慨万千地说：

“不容易啊。。。。。。太不容易了！”

“我们终于有了自己的EUV光刻机，再也不用被外国人卡脖子了！”

陈野走到光刻机前，伸出手，轻轻触摸着冰冷的机身。

指尖传来细微的震动，仿佛是中国半导体产业重生的脉搏。