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第一百四十四章 组装完成国内首台EUV光刻机（第2页）

领头的是国内碳基材料领域的泰斗级人物——李院士。

他头发花白，精神矍铄，一进门就直奔主题，拿出随身携带的平板电脑，调出密密麻麻的数据：

“陈总，幸不辱命！我们团队连夜优化了制备工艺，新批次的碳基纳米材料纯度达到了95%，比之前提升了两个数量级，这是详细的制备参数和性能检测报告。”

陈野眼睛一亮，立刻召集核心成员围了过来。

平板上的数据清晰明了，材料的纯度、稳定性、适配性等关键指标都远超预期。

负责材料适配的研究员激动地拍了下手：

“太好了！有这个纯度的材料，我们之前生产光刻镜时出现的边缘模糊、缺陷率高的问题，肯定能彻底解决！”

李院士看着陈野，眼中满是赞许：

“陈总，你提供的光刻机图纸太关键了。“

“我们根据图纸里的材料适配要求调整了工艺，才能在这么短的时间内拿出合格的材料。”

“不得不说，这图纸里的技术理念，刷新了我们对精密材料应用的认知啊！”

组件难题的突破，让团队的士气更盛。

而另一边，国产设备厂商也传来了好消息。

拿到陈野提供的定制设备图纸后，几家国内顶尖的设备厂商立刻开启了“三班倒”模式。

车间里机器轰鸣，火花四溅，工程师和工人们顶着压力加班加点，每一个零件的加工都精益求精。

为了确保精度达标，他们甚至临时调配了国内最先进的超精密加工设备。

反复打磨、检测，只为契合图纸上的每一个参数。

三天后，第一批定制设备顺利送达启元实验室。

巨大的设备被吊车缓缓送入指定区域，外包装拆开的瞬间，银灰色的机身泛着冷冽的金属光泽。

精密的接口、流畅的线条，无不彰显着顶尖的制造工艺。

设备厂商的项目负责人擦了擦额头的汗，对陈野说：

“陈总，所有设备都严格按照图纸要求制造，关键部件的精度误差控制在0。1微米以内，并且经过三次全负荷测试，性能完全达标！”

接下来，就是最关键的组装阶段。

陈野亲自带队，联合材料研究所的专家、设备厂商的技术人员，组成了专项组装团队。

每个人都各司其职，小心翼翼地组装着光刻机的核心部件。

光源系统、光刻物镜、工作台，被逐一吊装、定位、连接。

金属衔接时的清脆声响、仪器校准的提示音、团队成员之间的低声交流，交织成一首紧张而有序的交响曲。

苏晚晴也全程守在实验室，不仅负责协调各方的后勤保障，还时不时帮着记录数据。